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Titel :
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DEU-Waldheim - Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Lieferung einer Elektronenstrahl- Lithografieanlage (E-Beam-System)
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2026051300541044032 / 328405-2026
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Veröffentlicht :
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13.05.2026
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Anforderung der Unterlagen bis :
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21.12.2026
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Angebotsabgabe bis :
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18.06.2026
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
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DEU-Waldheim: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Lieferung einer Elektronenstrahl- Lithografieanlage (E-Beam-System)
2026/S 92/2026 328405
Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Lieferung einer Elektronenstrahl-
Lithografieanlage (E-Beam-System)
OJ S 92/2026 13/05/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
E-Mail: ulrich.rant@ksi-sensors.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Beschreibung: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Kennung des Verfahrens: 019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf
Interne Kennung: 2026-1
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
Zentrale Elemente des Verfahrens: EU Ausschreibung
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. Kurt-
Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim / Germany
Postleitzahl: 04736
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Sächsische Vergabeordnung
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: Lieferung, Installierung und
Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-beam-System)
2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Lieferung, Installierung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-
beam-System).
Beschreibung: Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein
definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro-
und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge: 1 Stück
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. (KSI
Meinsberg)
Stadt: Waldheim
Postleitzahl: 04736
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 12/05/2026
Enddatum der Laufzeit: 21/12/2026
5.1.4. Verlängerung
Maximale Verlängerungen: 0
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
Zusätzliche Informationen: -
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung
Beschreibung: Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber nach
Inbetriebnahme ein Elektronenstrahl-Lithografiesystem, welches in dem angefügten
Leistungsverzeichnis genauer beschrieben ist.
Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die erbrachten Bauleistungen, Dienstleistungen oder
gelieferten Güter beinhalten Produktinnovationen.
5.1.8. Zugänglichkeitskriterien
Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Der Auftragnehmer muss die gewünschten Vorgaben
erfüllen.
5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Die Vorgaben sind im Leistungsverzeichnis enthalten.
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-
4d65-9d09-68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-4d65-9d09-
68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen
Beschreibung: Alle Unterlagen sind über www.evergabe.de elektronisch einzureichen.
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der
Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 17/06/2026 20:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit,
Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 3 Monate
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: entfällt
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 18/06/2026 08:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische
Sommerzeit
Ort des Eröffnungstermins: KSI Meinsberg
Eröffnungstermin Beschreibung: -
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Es ist eine Geheimhaltungsvereinbarung erforderlich: nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Teilzahlungen sind gegen Bankbürgschaft möglich.
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Informationen über die Überprüfungsfristen: entfällt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Kurt-
Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Kurt-Schwabe-
Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Kurt-
Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Registrierungsnummer: VR 5308
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim
Postleitzahl: 04736
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
E-Mail: ulrich.rant@ksi-sensors.de
Telefon: 034327608 150
Fax: 034327 608131
Internetadresse: www.ksi-sensors.de
Profil des Erwerbers: www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 019e018f-9e38-4d53-aed5-c6f0d1053424 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 12/05/2026 08:21:45 (UTC+02:00)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 92/2026
Datum der Veröffentlichung: 13/05/2026
Referenzen:
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202605/ausschreibung-328405-2026-DEU.txt
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