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icc hofmann - Ingenieurbüro für technische Informatik Am Stockborn 16, 60439 Frankfurt/M, FRG Tel.: +49 6082-910101 Fax.: +49 6082-910200 E-Mail: info@icc-hofmann.net |
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38500000 - Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
38540000 - Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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DEU-München: Deutschland Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Waferprober 2026/S 27/2026 90312 Deutschland Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Waferprober OJ S 27/2026 09/02/2026 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung - Änderungsbekanntmachung Lieferleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München E-Mail: roman.gernhaeuser@ph.tum.de Rechtsform des Erwerbers: Regionale Gebietskörperschaft Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Waferprober Beschreibung: Gegenstand der Anschaffung ist ein Wafer Prober für den elektrischen Test von Halbleiterwafern mit einer Größe von 150 mm bis 300 mm. Kennung des Verfahrens: 44f69426-3e8b-42a8-bc0c-04367b9401c5 Interne Kennung: 051/2025 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Zusätzliche Einstufung (cpv): 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen 2.1.2. Erfüllungsort Stadt: Garching Postleitzahl: 85748 Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0MHCP# Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Waferprober Beschreibung: Der Auftrag umfasst Lieferung, Installation und Inbetriebnahme laut Leistungsbeschreibung am Aufstellort in Garching bei München entsprechend den dargestellten Reinraum-Vorschriften. Ebenso ist eine Einweisung von Mitarbeitern Teil des Auftrags. Interne Kennung: 051/2025 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Zusätzliche Einstufung (cpv): 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen 5.1.2. Erfüllungsort Stadt: Garching Postleitzahl: 85748 Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Laufzeit: 9 Monate 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus dem EU/EFTA Raum aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnummer). Maßstab für Vergleichbarkeit sind Wafergröße, Reinraumspezifikation, Positioniergenauigkeit und Eignung für Vertical Probe Cards. Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung des Bieters, dass er eine Betriebshaftpflichtversicherung unterhält. Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto. 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Beschreibung: Preis Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 100,00 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 19/02/2026 23:59:59 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP /documents Ad-hoc-Kommunikationskanal: URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 26/02/2026 08:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 8 Wochen Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Eröffnungstermin: 26/02/2026 08:01:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig Aufträge werden elektronisch erteilt: nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern Informationen über die Überprüfungsfristen: Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt. Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Technische Universität München Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Technische Universität München 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München Registrierungsnummer: 09-1512011-61 Postanschrift: Arcisstraße 21 Stadt: München Postleitzahl: 80333 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: roman.gernhaeuser@ph.tum.de Telefon: 08928912440 Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern Registrierungsnummer: 09-0318006-60 Stadt: München Postleitzahl: 80534 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de Telefon: +49 892176-2411 Fax: +49 892176-2847 Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns /zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/ Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender 10. Änderung Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung : 279edecd-471b-46c6-8e04-2080b9bea3d9-01 Hauptgrund für die Änderung : Korrektur Beschaffer Beschreibung : In der Leistungsbeschreibung wurden Angaben korrigiert; die Angebotsfrist und auch die Frist für die Bieterfragen wurden deshalb verlängert 10.1. Änderung Abschnittskennung: PROCEDURE Beschreibung der Änderungen: 1. Seite 1, 3. Absatz: Ursprünglich: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 30 mm betragen. Neu: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 45 mm betragen. 2. Seite 1, 5. Absatz: Ursprünglich: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und 152 mm (6 inch) muss möglich sein. Neu: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und eine optionale Erweiterung auf 152 mm (6 inch) Nadelkarten muss möglich sein. 3. Seite 1, Automatisches Beladen: Ursprünglich: - Wafergröße: 150 mm, 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm Neu: - Wafergröße: zumindest 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm 4. Seite 1, Positionierung des Chucks: Ursprünglich: - X Verfahrbereich mind. 310 mm - Y Verfahrbereich mind. 501 mm - X/Y Auflösung: < 0.51 µm - X /Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 30 mm - Z Auflösung: < 0.51 µm Neu: - X Verfahrbereich mind. 300 mm - Y Verfahrbereich mind. 500 mm - X/Y Auflösung: < 0.7 µm - X/Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis - mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 10 mm - Z Auflösung: < 0.7 µm 5. Seite 2, letzter Bullet-Point von Positionierung des Chucks : Ursprünglich: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Wünschenswert wäre, dass bei der automatischen Beladung eine Vorausrichtung des Wafers und eine Erfassung der Wafer-Identifikationsnummer erfolgen können. Dies ist kein MUSS-Kriterium, muss aber später nachrüstbar sein. Neu: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Bei der automatischen Beladung muss eine Vorausrichtung des Wafers erfolgen können Die Angebotsfrist wurde verlängert bis zum 26.02.2026, 8.00 Uhr Die Frist für die Bieterfragen wurde verlängert bis zum 19.02.2026 Änderung der Auftragsunterlagen am: 06/02/2026 Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d2658fa8-3481-43a5-b24f-f7c203673259 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 06/02/2026 13:54:17 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 27/2026 Datum der Veröffentlichung: 09/02/2026 Referenzen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP/documents https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/ http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202602/ausschreibung-90312-2026-DEU.txt |
