Titel :
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DEU-Dresden - Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2025051200364517677 / 298452-2025
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Veröffentlicht :
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12.05.2025
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Anforderung der Unterlagen bis :
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13.06.2025
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Angebotsabgabe bis :
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13.06.2025
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
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DEU-Dresden: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
2025/S 90/2025 298452
Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Lieferung und Installation eines Dual
Beam Sputter Systems
OJ S 90/2025 12/05/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH
E-Mail: einkauf@namlab.com
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber
subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Wirtschaftliche Angelegenheiten
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Beschreibung: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Kennung des Verfahrens: 0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2
Interne Kennung: NLB2025_05
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Reinraum, 1. Stock im Gebäude
2.1.4. Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien
2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Korruption: Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage im
Wettbewerbsregister
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Lieferung und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems
Beschreibung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und
Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage
engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet.
Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und
mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen,
dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in
einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in
einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die
Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die
Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und
nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B.
Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss.
Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im
ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und
muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses
Reinraumes erfüllen.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge: 1 Stück
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Reinraum, 1. Stock im Gebäude
5.1.3. Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.8. Zugänglichkeitskriterien
Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Kriterium: Finanzkennzahlen
Beschreibung: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur
Ausschreibung.
Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
5.1.11. Auftragsunterlagen
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen:
Schutz besonders sensibler Informationen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unter: https://www.evergabe.de
/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.de/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-
da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe
der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Frist für den Eingang der Angebote: 13/06/2025 13:00:00 (UTC+2) Eastern European Time,
Central European Summer Time
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 7 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikatonen; Informationen zum Unternehmen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 13/06/2025 14:00:00 (UTC+2) Eastern European Time, Central European
Summer Time
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei
Abnahme 20 %. Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten
Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: NaMLab
gGmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: NaMLab gGmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: 1.
Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH
Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: einkauf@namlab.com
Telefon: +49 21249900
Internetadresse: https://www.namlab.com
Profil des Erwerbers: https://www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig (DED52)
Land: Deutschland
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de
Telefon: +49 3419771040
Internetadresse: https://www.lds.sachsen.de
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 0196aa5e-fbde-46a7-9721-34317a25636f - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 08/05/2025 11:06:45 (UTC+2) Eastern
European Time, Central European Summer Time
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 90/2025
Datum der Veröffentlichung: 12/05/2025
Referenzen:
https://www.lds.sachsen.de
https://www.namlab.com
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202505/ausschreibung-298452-2025-DEU.txt
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