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Ausschreibung: Industrielle Maschinen - DE-Frankfurt (Oder)
Industrielle Maschinen
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 426950-2022 (ID: 2022080509135684872)
Veröffentlicht: 05.08.2022
*
  DE-Frankfurt (Oder): Industrielle Maschinen
   2022/S 150/2022 426950
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Rechtsgrundlage:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative
   Mikroelektronik
   Postanschrift: Im Technologiepark 25
   Ort: Frankfurt (Oder)
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Postleitzahl: 15236
   Land: Deutschland
   Kontaktstelle(n): Beschaffung
   E-Mail: [6]rohner@ihp-microelectronics.com
   Telefon: +49 335-5625-359
   Fax: +49 335-5625-25359
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [7]https://www.ihp-microelectronics.com/
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [8]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
   YDY3/documents
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [9]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
   YDY3
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: Forschung und Entwicklung
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums
   Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2022-090
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42000000 Industrielle Maschinen
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: ja
   Angebote sind möglich für maximale Anzahl an Losen: 5
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Nassstrahlanlage
   Los-Nr.: 1
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42000000 Industrielle Maschinen
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Hauptort der Ausführung:
   IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
   Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Folgende technische Eigenschaften/Bedingungen müssen gewährleistet
   sein:
   - max. Gesamtbreite 2500 mm, max. Gesamthöhe 2300 mm, max. Gesamttiefe
   1850 mm
   - max. Maschinengewicht 900 kg
   - max. Geräuschpegel 79-83 db(A)
   - Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz
   - Fertigung aller medienberührten Teile und der Strahlkabine komplett
   in Edelstahl- bzw. Kunststoff-Bauweise
   - hochvolumige, verschleißresistente Nassdruckstrahl-Medienpumpe der
   Größe NW 40 aus Polyurethan
   - Innenbeleuchtung der Strahlkammer in 24 V DC-LED-Ausführung in IP 67
   - Anordnung aller Ventile und Anschlüsse auf dem Maschinendach
   - guter Zugang zur Strahlpumpe
   - Verwendung von doppelwandigem Schallschutz-Sicherheitsglas als
   Fenster für Prozessbeobachtung
   - Innenseite Verkleidung mit verschleißresistenten, austauschbaren
   PU-Vorhängen
   - 2 manuelle horizontale Türen für Beladung und Wartung
   - Beide Türen mit jeweils 2 Türhebeln versehen
   - Blend- und Schalldämmbleche im unteren Anlagenbereich für verbesserte
   Geräuschdämmung
   - Beladestation in Edelstahl, rechts angebaut, mit Rollwagen und
   verschleißfestem, stabilem Drehteller aus Polyurethan (Durchmesser ca.
   830 mm)
   - Ring aus Edelstahl mit ca. 830 mm Außendurchmesser, damit keine Teile
   vom Drehteller fallen können
   - manuelles pneumatisches Druckluft Servo-Ventil mit Luftmembranventil
   und Manometer
   - Elektrischer Scheibenwischer-Motor mit Wischer-Arm und Wischer-Blatt
   - Filtertank in Edelstahl mit feinem, großem Filtersack, incl.
   pneumatischer Membran-Spülpumpe, Überlaufventil an Rückseite der Anlage
   montiert und zusätzliche manuelle Spülpistole, um das Innere der Anlage
   abzuspülen
   - alle Ventile sind als pneumatischen Quetschventile auszuführen
   - Scheibenspülung über Kreislaufwasser, mit Edelstahl-Beutelfilter
   - manuelle Messmöglichkeit der Medienkonzentration über 2 Ventile,
   angebaut an Maschinenrückseite, incl. Messglas 1000 ml mit feiner 1 %
   Skala incl. Quetschventil
   - Zyklon an Rückwand der Anlage, zum schnellen und einfachen
   Strahlmedienwechsel, angebaut
   - Filtertank mit Spülpumpe
   - manuelle Spül- und Blaspistole an der Be- und Entladestation
   - Schaltschrank, an hinterer Rückseite der Anlage montiert; bei
   Verwendung einer SPS eine von Siemens verwenden
   - Zusätzliche Strahlpistole mit Lanze aus Edelstahlrohr mit Luft- und
   Strahlmedienanschluss für die Bearbeitung kleinster Teile mit kleinsten
   Öffnungen
   - Magnetventile im Zulauf des Wassers und der Scheibenspülung,
   letzteres gekoppelt am Einschalten der Pumpe
   - zusätzlich Handventil zur Einregulierung der Wassermenge der
   Scheibenspülung
   - Angebot eines Verschleißteil-Pakets
   - Inbetriebnahme und Einweisung im IHP
   - Inklusive Verpackung und Transport
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 1
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Rohr-/Teilereinigungsanlage
   Los-Nr.: 2
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42000000 Industrielle Maschinen
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Hauptort der Ausführung:
   IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
   Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Das Hauptaugenmerk erstreckt sich dabei auf Teile aus den Gebieten der
   Oxidation und Epitaxie.
   Technische Daten/Eigenschaften:
   - Allgemein
   - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz
   - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
   evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1500 mm;
   max. Anlagenbreite 3400 mm
   - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000
   - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
   auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%),
   - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
   an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP gestalten
   - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
   (EU-Maschinenrichtlinie usw.)
   - Gehäuse
   - Anlage zweigeteilt aus 1. einer Rohrätzanlage für die vertikale
   Reinigung von 1 Quarzrohr bzw. 1 Boat und einer zusätzlichen
   Kleinteilereinigung allgemein und im speziellen für die
   Umwälzdurchströmung von vorhandenen Kompaktfiltern mit HF und 2. einen
   mit einem Becken versehenen Bereich z.B. für die Kammerreinigung von
   Epitaxie-Anlagen. Für diesen ist ebenfalls eine Umwälzung der Chemie
   mittels Membranpumpe vorzusehen.
   - Korpus aus PP-natur, Fronttüren aus transparentem chemiebeständigem
   Material gesamte Anlage im unteren Bereich mit einer Leckagewanne und
   Lecksensor versehen
   - Gesamte Bauweise in mediensparender Bauweise
   - LED-beleuchtete Prozesskammer
   - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
   gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen, mit einem bzw. mehreren
   Abluftanschluss/-schlüssen versehen und mit einer oder mehreren
   beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch, pneumatisch
   oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein
   - Ätz- und Reinigungskomponenten
   - Säuretanks aus PVDF mit ca. 35 l Inhalt
   - Membranpumpen für die Sprühreinigung
   - Automatischer Sprühkopf für die "Liner"-Reinigung
   - Automatisches Verfahren vertikal mit Sprühdüsen für die Rohrreinigung
   - Sprühstange für Quarz-"Boate"
   - Spezialolivenanschluss für die Reinigung der Gaseinlässe
   - Prozesskammer
   - Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose
   Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen
   - Türsicherheitsüberwachung während des Prozesses
   - Türreinigungsmöglichkeit von oben und von unten
   - Kammerreinigungsmöglichkeit
   - Kammerhavarieabfluss
   - Abflusssieb
   - Aufnahmemöglichkeit für Quarz-"Boate" und "Paddles"
   - Max. Rohrabmaße Durchm. 400 mm; 1,15 m Länge
   - Einstellbare Abluftklappe mittels Servoantrieb
   - Integrierte Leitfähigkeitsmesszelle
   - Handbrausen für N2+ Di-Wasser an beiden Anlagenteilen
   - Prozesskontrolle
   - leichte Bedienung und Prozesskontrolle mittels Touchpanel
   - PLC-Contoller mit ?10"-Touchpanel
   - Als Steuerung ist "Simatic" von der Fa. Siemens bevorzugt zu
   verwenden
   - 3 Passwortebenen (Bediener, Prozessingenieur, Service) für
   autorisierten Zugang
   - Programmiermöglichkeit von min. 40 Rezepten und jedes mit 20
   Einzelschritten
   - Variable Dateneingaben (Zeit, Temperatur, Geschwindigkeit, Parameter
   usw.)
   - Der zweite Bereich der Anlage ist mit einem Becken in der Größe von
   1,20 m Länge x 0,40 m Breite und einer Tiefe von 0,30 m auszustatten.
   Gefälle ist zu beachten.
   - Im zweiten Teil ist ferner ein DI-Wasser-Standhahn anzubringen.
   - Alle Bedienelemente von Brausen bzw. dem Standhahn sind in der
   Frontblende zu positionieren.
   - Beide Anlagenteile sind mit entsprechender interner PFO-Gestaltung
   und äußeren Anschlüssen zu versehen.
   - Abflussmäßig sind verschiedene Anschlüsse (Chemie und Spülwasser
   getrennt und für das Spülwasser selbst noch einmal 2 separate Wege
   (Umschaltmöglichkeit je nach dem in der Software eingestellten
   Leitwert)) zu unterscheiden
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 1
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Reinigungsanlage für die vorwiegende Reinigung von Metallisierungs- und
   Trockenätzanlagen-Teilen
   Los-Nr.: 3
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42000000 Industrielle Maschinen
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Hauptort der Ausführung:
   IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
   Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Ein wichtiges Kriterium für die für diesen Aufgabenbereich zuständige
   Anlage ist, sie muss über eine für den Benutzer frei erstellbare
   Rezeptmöglichkeit verfügen und dann automatisch abarbeiten. Dazu ist
   ein dementsprechendes Handlingsystem vorzusehen.
   Es muss gewährleistet sein, dass alle im Anhang aufgelisteten Teile in
   höchster Qualität gereinigt werden und somit der Wiederverwendung zur
   Verfügung stehen. Die Reinigungsprozeduren sind vom Anbieter selbst zu
   erstellen und dem IHP vorzuführen.
   Die nachstehend genannten Punkte sind dennoch dabei miteinzuarbeiten.
   Technische Daten/Eigenschaften:
   - Allgemein
   - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz
   - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
   evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm;
   max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr
   wichtiges Kriterium.
   - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000
   - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
   auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%),
   Wasserstoffperoxid (31 %), Ammoniumhydroxid (28%), Aceton, Isopropanol
   - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
   an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten
   - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
   (EU-Maschinenrichtlinie usw.)
   - Gehäuse
   - Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw.
   einen Vorortzusammenbau gewährleisten.
   - Die Anlage soll mit 2 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet
   sein
   - Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch
   zu versorgen.
   - Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht
   werden.
   - Korpus aus PP-natur, Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem
   chemiebeständigem Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch
   angetrieben)
   - Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage
   - gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Leckageauffangwannen und
   -sensoren versehen (bei Auslösung hat eine optische Signalisierung und
   DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu erfolgen.
   - den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als
   Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit
   horizontalen Schiebetüren versehen
   - LED-beleuchteter Prozessbereich
   - Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den
   Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit
   Abwasseranschluss versehen.
   - Die Anlage ist mit entsprechender interner PFO-Gestaltung und äußeren
   Anschlüssen zu versehen.
   - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
   gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen und mit einer oder
   mehreren beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch,
   pneumatisch oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein
   - Ätz- und Reinigungskomponenten
   - Folgende Becken müssen integriert sein:
   - 1 Ultraschallbecken groß (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe)
   lösemitteltauglich, 1 Ultraschallbecken klein (300 mm x 240 mm x 200 mm
   Tiefe) lösemitteltauglich, 1 Spülbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm
   Tiefe), 1 Ätzbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe), 1 Ätzbecken
   beheizt (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe) (Heizleistung 2 kW,
   trockengehschutzüberwacht, eine eventuell ins Beckeninnere montierte
   Heizung ist durch eine Roste vor Beschädigung zu schützen), 1
   Spülbecken (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe)
   - Alle Spülbecken sind mit einer integrierten Leitfähigkeitsmesszelle
   (je nach einstellbarem Wert) zur Abflussumschaltung zwischen 2 Wegen
   (Neutra+ Reclaim) auszustatten.
   - Alle Prozessbecken müssen so mit Anschlüssen und Ventilen samt
   Umschaltbetätigung ausgerüstet sein, dass 2 verschiedene Abflusswege
   gewährleistet werden.
   - Handbrausen für N2+ Di-Wasser jeweils an beiden Anlagenteilen
   - Variable Dateneingaben für Prozesssteuerungen (Zeit, Temperatur,
   Leitwert)
   - Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose
   Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 1
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Beckenanlage für die Einzel-Präparation von Siliziumscheiben
   Los-Nr.: 4
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42000000 Industrielle Maschinen
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Hauptort der Ausführung:
   IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
   Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Technische Daten/Eigenschaften:
   - Allgemein
   - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz
   - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
   evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm;
   max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr
   wichtiges Kriterium.
   - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000
   - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
   auszuführen (verwendete Chemikalien: Aceton, Isopropanol, NaOH)
   - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
   an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten
   - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
   (EU-Maschinenrichtlinie usw.)
   - Gehäuse
   - Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw.
   einen Vorortzusammenbau gewährleisten.
   - Die Anlage soll mit 4 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet
   sein
   - Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch
   zu versorgen.
   - Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht
   werden.
   - Korpus bevorzugt aus PP-natur oder aber auch PP-weiß möglich,
   Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem chemiebeständigem
   Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch angetrieben)
   - Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage
   - gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Bodenauffangwanne und
   -sensoren nach WHG zu versehen (bei Auslösung hat eine optische
   Signalisierung und DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu
   erfolgen.
   - den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als
   Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit
   horizontalen Schiebetüren versehen
   - LED-beleuchteter Prozessbereich
   - Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den
   Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit
   Abwasseranschluss versehen.
   - Integrierte Gehäuseabsaugung im Arbeits- und Unterbereich individuell
   über manuelle Schieber einstellbar, sowie mit äußeren Anschlüssen zu
   versehen. Eine Überwachung ist in das System zu integrieren
   - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
   gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen
   - Prozessbereich
   - Perforierte Arbeitsplatte aus PP in entsprechender Farbe
   - Anordnung beim von links nach rechts gesehenem Prozessbereich mit
   einem integriertem Spin Coater, einem tiefgezogenen
   Quick-Dump-Rinse-Überlaufbecken und einem integrierten beheizbarem
   Ultraschallbecken
   - Die Innenmaße für das Spül- und dem Ultraschallbecken betragen ?260 x
   260 x 300 mm Höhe
   - Spül- und Ultraschallbecken sind mit einem flach integriertem Griff
   im Deckel, bündig in Höhe der perforierten Arbeitsplatte zu versehen
   - Separate pneumatische Ansteuermöglichkeit des Entleerventils des
   Spülbeckens
   - Generelle DI-Wasserabsperrmöglichkeit direkt vor dem Spülbecken mit
   Betätigung dann aktivem Bypass
   - Quick Dump Rinse Überlaufbecken mit Low Flow, High Flow und Spray
   Funktion
   - Spülbecken mit Neutraabfluss
   - Ultraschallbecken mit 2 Abflussrichtungen, umschaltbar (Neutra und
   Lösemittel)
   - 1 x DI-Wasser-Pistole mit Rezirkulation
   - 1 x DI-Wasser-Standhahn für das Spülbecken
   - 1 x Stickstoff-Pistole
   - 1 x Vakuum-Pinzette
   - Spin Coater-Eigenschaften:
   - Geeignet für Halbleiteranwendung
   - Für Waferdurchm. 200 mm
   - Gewährleistung von Metallkontaminationsfreiheit
   - Spin Coater mit Controller für frei programmierbare Prozessrezepte
   - Prozessablauf unter Vakuum
   - Entleeranschluß absperrbar und nach unten (Restentleerung beachten!)
   - Separate Abflussleitung aus der Anlage heraus (Lösemittelabfluss)
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 1
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Chemikalienschränke
   Los-Nr.: 5
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42000000 Industrielle Maschinen
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
   Hauptort der Ausführung:
   IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
   Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   - 1 Schrank (1 Schrank für Säuren und Laugen (räumliche Trennung) und 1
   Schrank für Organik)
   - Größe jeweils ca. 600x600x2000 mm
   - Gefahrstoffschränke nach EN 14470-1 bzw. TRGS 510 (Anlage 3), die der
   Gefahrstoffverordnung und dem Wasserhaushaltsgesetz nach §19
   entsprechen
   - Feuerwiderstandsfähigkeit 90 Minuten typgeprüft (Lösemittelschrank),
   GS geprüft
   - CE-Kennzeichnung
   - Schrank für Säuren und Laugen mit Kunststoffaußenhülle und für
   Lösemittel in Feinstahlblech-Ausführung mit Pulverbeschichtung
   - integrierte Auffangwannen / Auszugswannen aus PE
   - 3-6 pulverbeschichtete Fachböden
   - Fachböden im Raster in der Höhe verstellbar
   - Lüftungsgitter in Bodennähe für die vertikale Durchströmung
   - Abluftstutzen
   - Bodenauffangwanne
   - Flügeltür arretiert in jeder Position
   - selbsttätige Türenschließung nach Zeit und im Brandfall
   - Türdämpfung einstellbar
   - hochwertige Tu?rscharniere (Korrosionsbeständigkeit)
   - Potentialausgleichslaschen am Schrank für brennbare Flüssigkeiten
   - Fest integrierter, unterfahrbarer Sockel
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 1
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem
   zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim
   Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Referenzen:
   Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
   ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
   Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
   Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit
   den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
   -Referenzgeber:
   -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
   -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
   -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 01/09/2022
   Ortszeit: 12:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 28/10/2022
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 01/09/2022
   Ortszeit: 12:00
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
   [10]http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
   Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform
   Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen
   dort herunterladen.
   Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in
   den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum
   Vergabeverfahren informiert werden.
   Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das
   heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die
   Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir
   Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
   Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren
   und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren
   einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das
   Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung
   unumgänglich ist.
   Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYDY3
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
   Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
   Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
   Ort: Potsdam
   Postleitzahl: 14473
   Land: Deutschland
   Telefon: +49 331/866-1719
   Fax: +49 331/866-1652
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
   Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
   Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
   Ort: Potsdam
   Postleitzahl: 14473
   Land: Deutschland
   Telefon: +49 331/866-1719
   Fax: +49 331/866-1652
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
   Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
   Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
   Ort: Potsdam
   Postleitzahl: 14473
   Land: Deutschland
   Telefon: +49 331/866-1719
   Fax: +49 331/866-1652
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   02/08/2022
References
   6. mailto:rohner@ihp-microelectronics.com?subject=TED
   7. https://www.ihp-microelectronics.com/
   8. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYDY3/documents
   9. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYDY3
  10. http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de