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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DE-Frankfurt (Oder) - Industrielle Maschinen
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2022080509135684872 / 426950-2022
Veröffentlicht :
05.08.2022
Angebotsabgabe bis :
01.09.2022
Dokumententyp : Ausschreibung
Vertragstyp : Lieferauftrag
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Unterteilung des Auftrags : Gesamtangebot
Zuschlagkriterien : Niedrigster Preis
Produkt-Codes :
42000000 - Industrielle Maschinen
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DE-Frankfurt (Oder): Industrielle Maschinen

2022/S 150/2022 426950

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative
Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
E-Mail: [6]rohner@ihp-microelectronics.com
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [7]https://www.ihp-microelectronics.com/
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[8]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
YDY3/documents
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[9]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYD
YDY3
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums
Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2022-090
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42000000 Industrielle Maschinen
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: ja
Angebote sind möglich für maximale Anzahl an Losen: 5
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Nassstrahlanlage
Los-Nr.: 1
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Folgende technische Eigenschaften/Bedingungen müssen gewährleistet
sein:

- max. Gesamtbreite 2500 mm, max. Gesamthöhe 2300 mm, max. Gesamttiefe
1850 mm

- max. Maschinengewicht 900 kg

- max. Geräuschpegel 79-83 db(A)

- Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

- Fertigung aller medienberührten Teile und der Strahlkabine komplett
in Edelstahl- bzw. Kunststoff-Bauweise

- hochvolumige, verschleißresistente Nassdruckstrahl-Medienpumpe der
Größe NW 40 aus Polyurethan

- Innenbeleuchtung der Strahlkammer in 24 V DC-LED-Ausführung in IP 67

- Anordnung aller Ventile und Anschlüsse auf dem Maschinendach

- guter Zugang zur Strahlpumpe

- Verwendung von doppelwandigem Schallschutz-Sicherheitsglas als
Fenster für Prozessbeobachtung

- Innenseite Verkleidung mit verschleißresistenten, austauschbaren
PU-Vorhängen

- 2 manuelle horizontale Türen für Beladung und Wartung

- Beide Türen mit jeweils 2 Türhebeln versehen

- Blend- und Schalldämmbleche im unteren Anlagenbereich für verbesserte
Geräuschdämmung

- Beladestation in Edelstahl, rechts angebaut, mit Rollwagen und
verschleißfestem, stabilem Drehteller aus Polyurethan (Durchmesser ca.
830 mm)

- Ring aus Edelstahl mit ca. 830 mm Außendurchmesser, damit keine Teile
vom Drehteller fallen können

- manuelles pneumatisches Druckluft Servo-Ventil mit Luftmembranventil
und Manometer

- Elektrischer Scheibenwischer-Motor mit Wischer-Arm und Wischer-Blatt

- Filtertank in Edelstahl mit feinem, großem Filtersack, incl.
pneumatischer Membran-Spülpumpe, Überlaufventil an Rückseite der Anlage
montiert und zusätzliche manuelle Spülpistole, um das Innere der Anlage
abzuspülen

- alle Ventile sind als pneumatischen Quetschventile auszuführen

- Scheibenspülung über Kreislaufwasser, mit Edelstahl-Beutelfilter

- manuelle Messmöglichkeit der Medienkonzentration über 2 Ventile,
angebaut an Maschinenrückseite, incl. Messglas 1000 ml mit feiner 1 %
Skala incl. Quetschventil

- Zyklon an Rückwand der Anlage, zum schnellen und einfachen
Strahlmedienwechsel, angebaut

- Filtertank mit Spülpumpe

- manuelle Spül- und Blaspistole an der Be- und Entladestation

- Schaltschrank, an hinterer Rückseite der Anlage montiert; bei
Verwendung einer SPS eine von Siemens verwenden

- Zusätzliche Strahlpistole mit Lanze aus Edelstahlrohr mit Luft- und
Strahlmedienanschluss für die Bearbeitung kleinster Teile mit kleinsten
Öffnungen

- Magnetventile im Zulauf des Wassers und der Scheibenspülung,
letzteres gekoppelt am Einschalten der Pumpe

- zusätzlich Handventil zur Einregulierung der Wassermenge der
Scheibenspülung

- Angebot eines Verschleißteil-Pakets

- Inbetriebnahme und Einweisung im IHP

- Inklusive Verpackung und Transport
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Rohr-/Teilereinigungsanlage
Los-Nr.: 2
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Das Hauptaugenmerk erstreckt sich dabei auf Teile aus den Gebieten der
Oxidation und Epitaxie.

Technische Daten/Eigenschaften:

- Allgemein

- Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

- Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1500 mm;
max. Anlagenbreite 3400 mm

- Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

- Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%),

- Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP gestalten

- Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
(EU-Maschinenrichtlinie usw.)

- Gehäuse

- Anlage zweigeteilt aus 1. einer Rohrätzanlage für die vertikale
Reinigung von 1 Quarzrohr bzw. 1 Boat und einer zusätzlichen
Kleinteilereinigung allgemein und im speziellen für die
Umwälzdurchströmung von vorhandenen Kompaktfiltern mit HF und 2. einen
mit einem Becken versehenen Bereich z.B. für die Kammerreinigung von
Epitaxie-Anlagen. Für diesen ist ebenfalls eine Umwälzung der Chemie
mittels Membranpumpe vorzusehen.

- Korpus aus PP-natur, Fronttüren aus transparentem chemiebeständigem
Material gesamte Anlage im unteren Bereich mit einer Leckagewanne und
Lecksensor versehen

- Gesamte Bauweise in mediensparender Bauweise

- LED-beleuchtete Prozesskammer

- Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen, mit einem bzw. mehreren
Abluftanschluss/-schlüssen versehen und mit einer oder mehreren
beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch, pneumatisch
oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein

- Ätz- und Reinigungskomponenten

- Säuretanks aus PVDF mit ca. 35 l Inhalt

- Membranpumpen für die Sprühreinigung

- Automatischer Sprühkopf für die "Liner"-Reinigung

- Automatisches Verfahren vertikal mit Sprühdüsen für die Rohrreinigung

- Sprühstange für Quarz-"Boate"

- Spezialolivenanschluss für die Reinigung der Gaseinlässe

- Prozesskammer

- Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose
Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen

- Türsicherheitsüberwachung während des Prozesses

- Türreinigungsmöglichkeit von oben und von unten

- Kammerreinigungsmöglichkeit

- Kammerhavarieabfluss

- Abflusssieb

- Aufnahmemöglichkeit für Quarz-"Boate" und "Paddles"

- Max. Rohrabmaße Durchm. 400 mm; 1,15 m Länge

- Einstellbare Abluftklappe mittels Servoantrieb

- Integrierte Leitfähigkeitsmesszelle

- Handbrausen für N2+ Di-Wasser an beiden Anlagenteilen

- Prozesskontrolle

- leichte Bedienung und Prozesskontrolle mittels Touchpanel

- PLC-Contoller mit ?10"-Touchpanel

- Als Steuerung ist "Simatic" von der Fa. Siemens bevorzugt zu
verwenden

- 3 Passwortebenen (Bediener, Prozessingenieur, Service) für
autorisierten Zugang

- Programmiermöglichkeit von min. 40 Rezepten und jedes mit 20
Einzelschritten

- Variable Dateneingaben (Zeit, Temperatur, Geschwindigkeit, Parameter
usw.)

- Der zweite Bereich der Anlage ist mit einem Becken in der Größe von
1,20 m Länge x 0,40 m Breite und einer Tiefe von 0,30 m auszustatten.
Gefälle ist zu beachten.

- Im zweiten Teil ist ferner ein DI-Wasser-Standhahn anzubringen.

- Alle Bedienelemente von Brausen bzw. dem Standhahn sind in der
Frontblende zu positionieren.

- Beide Anlagenteile sind mit entsprechender interner PFO-Gestaltung
und äußeren Anschlüssen zu versehen.

- Abflussmäßig sind verschiedene Anschlüsse (Chemie und Spülwasser
getrennt und für das Spülwasser selbst noch einmal 2 separate Wege
(Umschaltmöglichkeit je nach dem in der Software eingestellten
Leitwert)) zu unterscheiden
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Reinigungsanlage für die vorwiegende Reinigung von Metallisierungs- und
Trockenätzanlagen-Teilen
Los-Nr.: 3
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Ein wichtiges Kriterium für die für diesen Aufgabenbereich zuständige
Anlage ist, sie muss über eine für den Benutzer frei erstellbare
Rezeptmöglichkeit verfügen und dann automatisch abarbeiten. Dazu ist
ein dementsprechendes Handlingsystem vorzusehen.

Es muss gewährleistet sein, dass alle im Anhang aufgelisteten Teile in
höchster Qualität gereinigt werden und somit der Wiederverwendung zur
Verfügung stehen. Die Reinigungsprozeduren sind vom Anbieter selbst zu
erstellen und dem IHP vorzuführen.

Die nachstehend genannten Punkte sind dennoch dabei miteinzuarbeiten.

Technische Daten/Eigenschaften:

- Allgemein

- Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

- Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm;
max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr
wichtiges Kriterium.

- Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

- Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%),
Wasserstoffperoxid (31 %), Ammoniumhydroxid (28%), Aceton, Isopropanol

- Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten

- Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
(EU-Maschinenrichtlinie usw.)

- Gehäuse

- Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw.
einen Vorortzusammenbau gewährleisten.

- Die Anlage soll mit 2 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet
sein

- Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch
zu versorgen.

- Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht
werden.

- Korpus aus PP-natur, Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem
chemiebeständigem Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch
angetrieben)

- Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage

- gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Leckageauffangwannen und
-sensoren versehen (bei Auslösung hat eine optische Signalisierung und
DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu erfolgen.

- den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als
Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit
horizontalen Schiebetüren versehen

- LED-beleuchteter Prozessbereich

- Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den
Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit
Abwasseranschluss versehen.

- Die Anlage ist mit entsprechender interner PFO-Gestaltung und äußeren
Anschlüssen zu versehen.

- Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen und mit einer oder
mehreren beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch,
pneumatisch oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein

- Ätz- und Reinigungskomponenten

- Folgende Becken müssen integriert sein:

- 1 Ultraschallbecken groß (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe)
lösemitteltauglich, 1 Ultraschallbecken klein (300 mm x 240 mm x 200 mm
Tiefe) lösemitteltauglich, 1 Spülbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm
Tiefe), 1 Ätzbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe), 1 Ätzbecken
beheizt (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe) (Heizleistung 2 kW,
trockengehschutzüberwacht, eine eventuell ins Beckeninnere montierte
Heizung ist durch eine Roste vor Beschädigung zu schützen), 1
Spülbecken (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe)

- Alle Spülbecken sind mit einer integrierten Leitfähigkeitsmesszelle
(je nach einstellbarem Wert) zur Abflussumschaltung zwischen 2 Wegen
(Neutra+ Reclaim) auszustatten.

- Alle Prozessbecken müssen so mit Anschlüssen und Ventilen samt
Umschaltbetätigung ausgerüstet sein, dass 2 verschiedene Abflusswege
gewährleistet werden.

- Handbrausen für N2+ Di-Wasser jeweils an beiden Anlagenteilen

- Variable Dateneingaben für Prozesssteuerungen (Zeit, Temperatur,
Leitwert)

- Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose
Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Beckenanlage für die Einzel-Präparation von Siliziumscheiben
Los-Nr.: 4
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Technische Daten/Eigenschaften:

- Allgemein

- Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

- Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer
evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm;
max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr
wichtiges Kriterium.

- Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

- Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material
auszuführen (verwendete Chemikalien: Aceton, Isopropanol, NaOH)

- Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss
an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten

- Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen
(EU-Maschinenrichtlinie usw.)

- Gehäuse

- Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw.
einen Vorortzusammenbau gewährleisten.

- Die Anlage soll mit 4 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet
sein

- Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch
zu versorgen.

- Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht
werden.

- Korpus bevorzugt aus PP-natur oder aber auch PP-weiß möglich,
Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem chemiebeständigem
Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch angetrieben)

- Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage

- gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Bodenauffangwanne und
-sensoren nach WHG zu versehen (bei Auslösung hat eine optische
Signalisierung und DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu
erfolgen.

- den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als
Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit
horizontalen Schiebetüren versehen

- LED-beleuchteter Prozessbereich

- Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den
Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit
Abwasseranschluss versehen.

- Integrierte Gehäuseabsaugung im Arbeits- und Unterbereich individuell
über manuelle Schieber einstellbar, sowie mit äußeren Anschlüssen zu
versehen. Eine Überwachung ist in das System zu integrieren

- Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu
gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen

- Prozessbereich

- Perforierte Arbeitsplatte aus PP in entsprechender Farbe

- Anordnung beim von links nach rechts gesehenem Prozessbereich mit
einem integriertem Spin Coater, einem tiefgezogenen
Quick-Dump-Rinse-Überlaufbecken und einem integrierten beheizbarem
Ultraschallbecken

- Die Innenmaße für das Spül- und dem Ultraschallbecken betragen ?260 x
260 x 300 mm Höhe

- Spül- und Ultraschallbecken sind mit einem flach integriertem Griff
im Deckel, bündig in Höhe der perforierten Arbeitsplatte zu versehen

- Separate pneumatische Ansteuermöglichkeit des Entleerventils des
Spülbeckens

- Generelle DI-Wasserabsperrmöglichkeit direkt vor dem Spülbecken mit
Betätigung dann aktivem Bypass

- Quick Dump Rinse Überlaufbecken mit Low Flow, High Flow und Spray
Funktion

- Spülbecken mit Neutraabfluss

- Ultraschallbecken mit 2 Abflussrichtungen, umschaltbar (Neutra und
Lösemittel)

- 1 x DI-Wasser-Pistole mit Rezirkulation

- 1 x DI-Wasser-Standhahn für das Spülbecken

- 1 x Stickstoff-Pistole

- 1 x Vakuum-Pinzette

- Spin Coater-Eigenschaften:

- Geeignet für Halbleiteranwendung

- Für Waferdurchm. 200 mm

- Gewährleistung von Metallkontaminationsfreiheit

- Spin Coater mit Controller für frei programmierbare Prozessrezepte

- Prozessablauf unter Vakuum

- Entleeranschluß absperrbar und nach unten (Restentleerung beachten!)

- Separate Abflussleitung aus der Anlage heraus (Lösemittelabfluss)
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Chemikalienschränke
Los-Nr.: 5
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im
Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

- 1 Schrank (1 Schrank für Säuren und Laugen (räumliche Trennung) und 1
Schrank für Organik)

- Größe jeweils ca. 600x600x2000 mm

- Gefahrstoffschränke nach EN 14470-1 bzw. TRGS 510 (Anlage 3), die der
Gefahrstoffverordnung und dem Wasserhaushaltsgesetz nach §19
entsprechen

- Feuerwiderstandsfähigkeit 90 Minuten typgeprüft (Lösemittelschrank),
GS geprüft

- CE-Kennzeichnung

- Schrank für Säuren und Laugen mit Kunststoffaußenhülle und für
Lösemittel in Feinstahlblech-Ausführung mit Pulverbeschichtung

- integrierte Auffangwannen / Auszugswannen aus PE

- 3-6 pulverbeschichtete Fachböden

- Fachböden im Raster in der Höhe verstellbar

- Lüftungsgitter in Bodennähe für die vertikale Durchströmung

- Abluftstutzen

- Bodenauffangwanne

- Flügeltür arretiert in jeder Position

- selbsttätige Türenschließung nach Zeit und im Brandfall

- Türdämpfung einstellbar

- hochwertige Tu?rscharniere (Korrosionsbeständigkeit)

- Potentialausgleichslaschen am Schrank für brennbare Flüssigkeiten

- Fest integrierter, unterfahrbarer Sockel
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 1
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem
zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim
Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Referenzen:

Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt

Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.

Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit
den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:

-Referenzgeber:

-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:

-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:

-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs

Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 01/09/2022
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 28/10/2022
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 01/09/2022
Ortszeit: 12:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg

[10]http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform
Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen
dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in
den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum
Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das
heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die
Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir
Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren
und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren
einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das
Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung
unumgänglich ist.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYDY3
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim
Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
02/08/2022

References

6. mailto:rohner@ihp-microelectronics.com?subject=TED
7. https://www.ihp-microelectronics.com/
8. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYDY3/documents
9. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYDY3
10. http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/

 
 
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