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Ausschreibung: Dampf- oder Sandstrahlmaschinen - DE-München
Dampf- oder Sandstrahlmaschinen
Dokument Nr...: 314673-2018 (ID: 2018072009095773117)
Veröffentlicht: 20.07.2018
*
DE-München: Dampf- oder Sandstrahlmaschinen
2018/S 138/2018 314673
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Legal Basis:
Richtlinie 2014/24/EU
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
über Vergabeportal deutsche eVergabe
Hansastr. 27c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [1]fraunhofer@deutsche-evergabe.de
NUTS-Code: DE212
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [2]http://www.fraunhofer.de
Adresse des Beschafferprofils: [3]http://www.deutsche-evergabe.de
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[4]http://www.deutsche-evergabe.de
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[5]http://www.deutsche-evergabe.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschungsgesellschaft e. V.
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Abscheideanlage für optische Schichtstapel
Referenznummer der Bekanntmachung: E_048_252408 cl-golame FMD
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42924200
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Für die Herstellung von Multilayerschichtsystemen für den VIS und NIR-
Bereich wird ein Abscheidesystem für die Abscheidung von dielektrischen
Schichte mit einer hohen Beschichtungsrate und einer herausragenden
Homogenität auf Wafern mit d=200 mm benötigt. Diese Systeme sollen als
hochreflektierende Spiegel auf MOEMS-Bauelementen integriert werden.
1) Technische Anforderungen:
Verdampfungskammer mit Fronttür und Sichtfenster,
Substrataufnahme (Kalotte) für mindestens 8 Substrate (Wafer mit
d=200 mm),
die manuelle Beladung soll ergonomisch und möglichst einfach
gestaltet sein, um auch filigrane Wafer sicher handeln zu können. (Kein
Über-Kopf-Handling, Realisierung beispielsweise mit herausfahrbarer
Kalotte oder segmentierter Kalotte)
Mind. 2 Elektronenstrahlkanonen (1x für Metalle, 1x für Oxide),
Mind. 10 Tiegel, um verschiedene Verdampfungsmaterialien nutzen zu
können,
Automatik-/Rezept-gesteuerte InSitu-Beschichtung von Schichtstapeln
(z. B. Oxid1-Oxid2-Oxid1).
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DED2
Hauptort der Ausführung:
01109 Dresden
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Zu 1.:
Ionenstrahlquelle für Ionenstrahlassistiertes Verdampfen,
Thermische Verdampfungsquelle,
Shutter für alle Verdampfungsquellen,
Verteilungsblende(n) zur Optimierung der Schichtdickenhomogenität,
Schichtdickenmessung mittels Schwingquarz,
Optisches Monitoring System (Breitband) im Wellenlängenbereich 300
1 100 nm, 5 nm Auflösung zur InSitu-Monitorierung von Schichtdicken und
InSitu-Rezeptanpassung während der Beschichtung.
2) Optionale Anforderungen
Automatisches Handlingssystem (Kassette-zu-Kassette), geeignet für 8
Standard SEMI Kassetten Typ DMS 780-550000005
Hier ist insbesondere vom Anbieter zu prüfen, ob das Handlingssystem
auch für filigrane Wafer mit Gruben/Löchern und für den Einsatz von
Schattenmasken geeignet ist. Manuelles Beladen der Anlage sollte
trotzdem möglich sein.
Option funkgesteuerte Multi-Shutter-Kalotte für die Teil-Beschichtung
von Multi-Layer-Stacks in einem Run.
3) Technologische Anforderungen
Verdampfen von Al mit hoher und niedriger Rate,
Verdampfen von SiO2, TiO2, Ta2O5 und Schichtstapeln basierend auf
diesen Materialien,
Gute Homogenität (<3 %) und Reproduzierbarkeit Wafer-zu-Wafer und
Los-zu-Los (<1 %),
Die Anlage soll prinzipiell in der Lage sein, auch weitere Metalle,
Oxide (z. B. Nb2O5) und Flouride verdampfen zu können.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 6
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Geplante Mindestzahl: 3
Höchstzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:
Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Anzahl der Geräte im Feld.
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
Optional soll Zubehör angeboten werden.
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s.
Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch
den Auftraggeber angefordert).
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Anlagen,
nicht älter als 3 Jahre. Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen
Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte
Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche
Auftraggeber;
(2) Bekanntgabe der Anzahl von vergleichbar gefertigten Anlagen für die
Halbleiterindustrie in Europa;
(3) Bekanntgabe der Anzahl von vergleichbar gefertigten Anlagen für die
Halbleiterindustrie weltweit.
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre
Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten
Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im
Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des
Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks
schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu
verhandelnden Angebote
IV.1.5)Angaben zur Verhandlung
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 17/08/2018
Ortszeit: 23:59
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:
Anforderung Unterlagen erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können
ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter
[6]www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. $
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen
über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB)
Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und
ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte
Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf
Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Villemombler Straße 76
Bonn
53123
Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Bonn
Deutschland
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage
nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht
abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein
Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist,
bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf
Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die
Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der
Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf
elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf
10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der
Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des
Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die
Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die
geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis
gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1
GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der
Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in
der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur
Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3
Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der
Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
über Vergabeportal eVergabe
Hansastraße 27c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [7]einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse: [8]http://www.fraunhofer.de
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
18/07/2018
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8. http://www.fraunhofer.de/
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