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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DE-München - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2017091309052529781 / 358004-2017
Veröffentlicht :
13.09.2017
Angebotsabgabe bis :
16.10.2017
Dokumententyp : Ausschreibung
Vertragstyp : Lieferauftrag
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Unterteilung des Auftrags : Gesamtangebot
Zuschlagkriterien : Wirtschaftlichstes Angebot
Produkt-Codes :
42990000 - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DE-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

2017/S 175/2017 358004

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Max-Planck-Institut für Physik
Föhringer Ring 6
München
80805
Deutschland
Kontaktstelle(n): Einkauf
Telefon: +49 8932354217
E-Mail: [1]ausschreibung@mpp.mpg.de
Fax: +49 8932354460
NUTS-Code: DE212

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: [2]http://www.mpp.mpg.de
I.2)Gemeinsame Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[3]https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/9ktv6wAZ0JcjmPp
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Einrichtung des privaten Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Grundlagenforschung

Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Kathodenzerstäubungsanlage (Sputter).
Referenznummer der Bekanntmachung: AS17/10
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42990000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer
Kathodenzerstäubungsanlage (Sputter) für Forschung und Entwicklung zur
Dünnfilmbeschichtung von Substraten mit verschiedenen Materialien
mittels Kathodenzerstäubungsverfahren (Sputtern) unter Verwendung
planarer Magnetronquellen (Targets). Bearbeitet werden sollen Substrate
mit unterschiedlicher Geometrie, Abmessung und Gewicht.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE212
Hauptort der Ausführung:

Max-Planck-Institut für Physik, Föhringer Ring 6, 80805 München.
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Ein (1) Stück Kathodenzerstäubungsanlage (Sputter) für Forschung und
Entwicklung zur Dünnfilmbeschichtung von Substraten mit verschiedenen
Materialien mittels Kathodenzerstäubungsverfahren (Sputtern) unter
Verwendung planarer Magnetronquellen (Targets). Bearbeitet werden
sollen Substrate mit unterschiedlicher Geometrie, Abmessung und
Gewicht.

I. Substrate

Material: Silizium, Germanium, Saphir, Wolframat-Einkristalle

Maximale Abmessung: Durchmesser < 100mm, Höhe < 50mm

Maximales Gewicht: < 500 Gramm.

II. Prozesse

Der Arbeitsablauf für alle im folgenden genannten Einzelprozesse muss
für alle in I. genannten Substrattypen und Geometrien mit dem
photolithografischen Lift-off Verfahren kompatibel sein.

Integrierte Einzelprozesse:

Vorbehandlung: Reinigung und Rückätzung (Ionenquelle oder
Rücksputterprozeß),

Filmabscheidung: Gold, Aluminium, Wolfram, Siliziumdioxid.

III. Anlage

III.1. Allgemeine Beschreibung

Keine Batchprozessierung erforderlich,

Favorisiert wird eine Positionierung der Magnetrons in Top-down
Anordnung.

Alternativ: konfokale Anordnung der Sputterquellen.

III.2. Mindestanforderung

Eine Prozesskammer in Edelstahlausführung mit folgenden
Prozesspositionen:

eine Vorbehandlungsposition,

drei DC-Magnetron Sputterquellen für Gold, Aluminium und Wolfram
(Haftvermittlung) davon mindestens zwei Magnetronquellen mit
Einrichtung für den gepulsten DC-Betrieb,

eine RF-Magnetron Sputterquelle für Siliziumoxid,

eine Hochtemperaturposition (Wolfram) mit RF-Magnetron Sputterquelle,
T 500°C,

mindestens eine freie unbelegte Prozessposition.

Anlagenkonzept entweder in Einzelkammerausführung oder in
Cluster-Konfiguration

Targets: Gold, Wolfram, Aluminium(Silizium), Siliziumdioxid,

Zwei Gaslinien für Argon und Stickstoff, Ausführung der Gasleitungen
in Edelstahl, innen elektropoliert und orbital verschweißt,

Höheneinstellung (Target Substrat) an allen Positionen,

Substratbeheizung, T 300°C,

Möglichkeit zur direkten manuellen Beladung der Prozesskammer,

Vakuumsystem: trocken verdichtende Vorpumpe (keine Scroll- oder
Membranpumpe) und Turbomolekularpumpe,

Bei Prozesskammer ohne Schleusenkammer: Schieberventil zwischen
Pumpensystem und Prozesskammer,

Reinigungsmöglichkeit der Anlage durch Verwendung von Liner-Bleche,

Rechner unabhängige manuelle Steuerungsmöglichkeit für alle Pumpen
und Ventile,

Manuelle und automatisierte Prozesssteuerung für jeden Einzelprozess,

Rechnerunterstützte Prozesssteuerung und Überwachung.

III.3. Optionen

Alle DC-Magnetron Positionen vorbereitet für den pulsed-DC Betrieb,

Reaktives Sputtern mit Sauerstoff und Stickstoff (MFC-geregelt),

Target: Wolfram hoher Reinheit,

Quadrupol-Massenspektrometer,

Anpassungsmöglichkeit auf unterschiedliche Targetgrößen
(Adapterflansch),

Gasflaschenschrank mit Flaschenanschluss und Entnahmestation für drei
Gasflaschen (50 l).

IV. Spezifikationen

IV.1 Anlage

Prozesskammerenddruck: < 5x10-7mbar, Leckrate: < 10-10 mbar lit/s,

Bei Prozesskammer ohne Schleusenkammer: Abpumpzeit bis 5x10-6 mbar: <
3h,

Stellfläche inklusive Wartungs- und Bedienungsfläche < 10qm (ohne
Zusatzkomponenten).

IV.2 Prozesse

Abscheidungsraten auf 100mm Standardwafer: < 50nm/min, Homogenität: <
10 %,

Schichtdicken: bis zu 2µm (Aluminium),

Lift-Off Kompatibilität,

Ätzrate Vorbehandlungsprozess: >1nm/min, einstellbar.

V. Dokumentation

vollständige Soft-und Hardware Dokumentation aller Anlagenteile.

VI. Werksabnahme und Prozessnachweis

Werksabnahme und Prozessnachweis nach Vorgabe und vor Auslieferung
der Anlage.

VII. Auslieferung, Installation, Endabnahme und Einweisung

Die Anlieferung, Aufstellung, Installation und Inbetriebnahme der
Anlage am endgültigen Standort am MPI für Physik in München erfolgt
durch Mitarbeiter des Herstellers,

Bestandteil der Endabnahme ist ein erneuter Prozessnachweis gemäß
Werksabnahme,

Im Rahmen der Endabnahme erfolgt die eine Einweisung von
MPI-Mitarbeitern in die Benutzung der Anlage.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 6
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:

Siehe Vergabeunterlagen.
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Bewerbergemeinschaften:

Bewerbergemeinschaften sind als Gesellschaft bürgerlichen Rechts (GbR),
als offene Handelsgesellschaft (oHG) sowie in haftungsrechtlich
vergleichbarer Form einer anderen EU-Rechtsordnung zugelassen. Es ist
im Angebot aufzuzeigen, wer an der Bewerbergemeinschaft beteiligt ist.
Dem Auftraggeber ist ein verantwortlicher Ansprechpartner aus der
Bewerbergemeinschaft zu benennen. Im Angebot ist außerdem detailliert
die aufgabenspezifische Aufteilung der Leistungserbringung darzulegen
(siehe hierzu Anlage 5 Formblätter_Eigenerklärungen). Auch im Falle von
Bewerbergemeinschaften (und selbstredend bei Unterauftragnehmern) muss
gewährleistet sein, dass für den Auftraggeber nur eine gleichbleibende
und im Falle von Unterauftragnehmer gesamtverantwortliche (Ansprech-)
Stelle existiert, an die die zu bearbeitenden Anträge/ Anfragen
versendet werden, mit der die komplette Korrespondenz abgewickelt wird,
bei der ein über die Vertragslaufzeit gleichbleibender Personenkreis
als Ansprechpartner für Rückfragen zur Verfügung steht und die für die
Rechnungsstellung zuständig ist. Unter Berücksichtigung der
diesbezüglichen Vorgaben in der Bekanntmachung dieses Vergabeverfahrens
im EU-Amtsblatt oder den vorliegenden Vergabeunterlagen sind die
geforderten Nachweise und Belege für/ von jedem Mitglied der
Bewerbergemeinschaft jeweils mit dem Angebot vorzulegen.

Andere Unternehmen

Für die Leistungserbringung vorgesehene andere Unternehmen sollen mit
dem Angebot (siehe Anlage 5 Formblätter_Eigenerklärungen) benannt
werden. Zudem soll mit dem Angebot eine Verpflichtungserklärung
vorgelegt werden, mit der die anderen Unternehmen erklären, dass Sie im
Fall der Zuschlagserteilung an den (ihn verpflichtenden) Bewerber
diesem mit Mitteln/ Kapazitäten im Rahmen und für die Erbringung der
hier ausgeschriebenen Leistungen verbindlich zur Verfügung stehen. Ein
Wechsel anderer Unternehmen ist nur nach vorheriger Zustimmung des
Auftraggebers zulässig, die dieser aus wichtigem Grund verweigern kann.
Die

Gründe für den beabsichtigten Wechsel sind dem Auftraggeber
unaufgefordert darzulegen. Der Auftraggeber behält sich vor, auf eine
solche Verpflichtungserklärung zu bestehen, in jedem Falle vor
Auftragserteilung.
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Zum Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit
sind die Formblätter Eignungskriterien zu verwenden. Diese sind unter
[4]https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/9ktv6wAZ0JcjmPp
herunterzuladen und für das Angebot zu verwenden. Fehlen geforderte
Angaben, Nachweise, Erklärungen und Unterlagen

ganz oder teilweise oder sind diese unvollständig oder entgegen den
Vorgaben ausgefüllt, erfolgt, außer bei Angaben, Unterlagen, Nachweisen
und Erklärungen, die von der Nachforderung ausgenommen sind, eine
einmalige Nachforderung unter Fristsetzung. Werden diese
nachgeforderten Angaben, Nachweise, Erklärungen

und Unterlagen nicht fristgemäß nachgereicht, erfolgt der Ausschluss
des Angebots.
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 16/10/2017
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 31/01/2018
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 17/10/2017
Ortszeit: 10:00
Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

Bieter sind nicht zugelassen.

Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer Südbayern bei der Regierung von Oberbayern
Maximilianstr. 39
München
80538
Deutschland
Telefon: +49 8921762411
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
08/09/2017

References

1. mailto:ausschreibung@mpp.mpg.de?subject=TED
2. http://www.mpp.mpg.de/
3. https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/9ktv6wAZ0JcjmPp
4. https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/9ktv6wAZ0JcjmPp

 
 
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